薄膜真空计的结构原理和测量方法

2022/10/26

薄膜真空计也是一种理想的全压计，不受气体种类的影响，且精度高、反应快，温度影响范围小，可作为标准真空计使用。那它的原理又是怎样的呢，一起来了解下。

　　一、薄膜真空计的测量方法

　　薄膜真空计属于弹性变形真空计中的一种，它获得的压力参数，是通过真空计中膜片在压力差作用下产生弹性变形量，经过信号变送而来。具体的变形量的测量方式还有机械的、光学的以及电学的这些形式。其中，电测量方式可以实现连续地远距离测量，灵敏度高，变形量与电信号之间的变送方式有电感式、压电式、电阻应变式以及电容式这几种。目前电容式的薄膜真空计应用较为广泛。下面，我们就来简单了解下电容式薄膜真空计的简单结构原理。

　　二、薄膜真空计的结构原理

　　电容式薄膜真空计主要由电容式压力传感器（电容式薄膜规管）和测量线路两部分组成。

       薄膜规管的主要结构包括两个结构完全相同的圆形固定电极和一个公用的膜片构成的活动电极。活动电极薄膜将规管空间分成密封的两个空间——测量室与参考室。固定电极和活动电极薄膜构成差动电容器，并作为电桥的两个臂布置在线路当中。当活动电极薄膜处于中间位置时，两个电容器的电容量相等。如果当活动电极薄膜由于压差作用，开始偏离中间位置时，两个电容器的电容量就会发生变化，使其中一个增大，一个减小。电容的变化会使电桥产生不平衡，因而会产生输出电压，将该输出电压经放大器放大后，再由检波器转换成直流电压后即可进行测量、输出。而不同的输出电压就对应着不同的气体压力。

　　以上这些就是薄膜真空计测量真空压力的简单原理了。